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160.49 EUR
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07-07-2026 07:05:38
Ein praxisorientiertes Fachbuch, das die chemisch-mechanische Planarisierung in der Halbleiterproduktion von Nanopartikeln bis zur Wafer‑Ebene detailliert modelliert und Ingenieuren neue Strategien für präzise IC‑Herstellung aufzeigt.