Name: Dornfeld, David A.: Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication
Brand: Springer
SKU: ID12068607
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Dornfeld, David A.: Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication

160.49 EUR

Ein praxisorientiertes Fachbuch, das die chemisch-mechanische Planarisierung in der Halbleiterproduktion von Nanopartikeln bis zur Wafer‑Ebene detailliert modelliert und Ingenieuren neue Strategien für präzise IC‑Herstellung aufzeigt.

Marke: Springer

MPN: 175 black & white illustrations

ISBN: 364206115X

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Gesponsert Integrated Modeling of Chemical Mechanical Planarization for Sub-Micron IC Fabrication

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