Elaboration de diamant CVD par plasma micro-onde CH4-H2 en mode pulsé: Réalisation des dispositifs à ondes acoustiques de surface à base de diamant

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Ein wissenschaftliches Handbuch, das die präzise CVD‑Herstellung von Diamant über pulsierendes Mikro‑Wellenplasma aus CH₄–H₂ erläutert und die Entwicklung neuer Oberflächenakustik‑Sensoren anhand dieser Schicht beschreibt.

ISBN: 9783841630544

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