High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications

235.39 EUR

Ein praxisorientiertes Fachbuch, das die physikalischen Prinzipien von Flüssigmetall-Ionquellen und Ionenoptiken erläutert und ihre Anwendung in hochauflösenden FIB-Systemen für Nanostrukturierung demonstriert.

Marke: Springer US
ISBN: 1461352290
MPN: biography