Name: MEMS and Nanotechnology Volume 5
Brand: Springer-Verlag GmbH
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MEMS and Nanotechnology Volume 5

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Der Band fasst die neuesten Erkenntnisse aus Mikroelektronik und Nanotechnologie der 2015er Jahrestagung der Experimental Mechanics Society zusammen, mit Fokus auf MEMS‑Sensoren, Aktuatoren und innovative Fertigungstechniken.

Marke: Springer-Verlag GmbH

MPN: 51 black & white illustrations, 47 colou

ISBN: 9783319224572

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