Name: Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD: couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture (Omn.Pres.Franc.)
Brand: Zhe Chen
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Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD: couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture (Omn.Pres.Franc.)

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Erforscht die Mikrostruktur von ZrO₂-Filmen, die mittels MOCVD aufgetragen werden, und beleuchtet Spannungsprofile, kristalline Anordnung sowie Texturveränderungen in ultradünnen Schichten.

Marke: Zhe Chen

ISBN: 9783838146324

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Relation microstructure et propriété des films de ZrO2 par MOCVD: couches minces, contrainte résiduelle, gradient de contrainte, structure cristalline, texture (Omn.Pres.Franc.)

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